金屬零件的真空泵熱處理是在密閉退火爐中進行的，這是眾所周知的嚴格的真空泵密封。因而，得到 和堅持不懈火爐預計的漏汽率，確保退火爐的工作中真空值，對保證 零件真空泵熱處理的品質擁有 十分關鍵的實際意義。因此，真空泵熱處理爐的關鍵問題是要有一個可靠的真空泵密封結構。熱處理廠家為了更好地確保退火爐的真空泵特性，真空泵熱處理爐總體設計中務必道循一個基本準則，便是爐墻要選用氣密性電焊焊接，另外在爐墻上盡量避免開或是不動孔，少選用或是防止選用動密封性構造，以盡量避免真空泵泄漏的機會。安裝在退火爐爐體上的水冷卻冷卻冷卻電氣級和耐熱輸出設備等部件和配件必須設計為密封。
大多數加熱和絕緣材料僅在真空泵的情況下使用。針對真空泵熱處理爐在真空泵和高溫條件下工作的特點，提出了真空泵熱處理爐的耐熱性、良好的輻射效果和小傳熱系數的規范。對抗進行氧化能規定要求不高。因此 ，真空泵通過熱處理爐普遍選用了鉭、鎢、鉬和高純石墨等作加溫與隔熱材料保溫構料。這種企業原材料在空氣情況下可以非常簡單容易導致空氣進行氧化，因而，一般熱處理爐不可以選用這種加溫與保溫材料。
水冷散熱設備：真空泵熱處理爐的爐蓋、爐蓋、電熱材料、水冷散熱電級、正中間真空泵隔熱保溫門等構件，均在真空泵、遇熱情況下工作中。在這樣極其惡劣的標準下，保證各部件的結構不變形、不損壞，真空泵的密封圈不發熱、不損壞是很重要的。因此，各部件應根據不同的工況設置水冷式冷卻設備，以保證真空泵熱處理爐能夠全部正常運行并有足夠的使用壽命。
